SHCV大功率半自动探针台

价格：电询 产地：深圳 品牌：SEMISHARE 型号：SHCV-Auto 深圳市森美协尔科技有限公司 在线咨询

详情介绍更新时间：2018/6/29 10:41:58

大功率半自动探针台　
型号　SHCV-6-Auto　SHCV-8-Auto　SHCV-12-Auto　
外形　860mm*850mm*700mm　880mm*860mm*750mm　 1300mm*920mm*920mm　
重量　180KG　250KG　380KG　
电力需求　AC220V,50~60HZ　
Chuck　尺寸　6inch　8inch　12inch　
X-Y轴行程　6*6inch　8*8inch　12*12inch　
X-Y轴移动解析度　0.04um/0.1um　
X-Y轴重复定位精度　±1um　
移动速度　≥ 50 mm/sec　
Z轴行程　10mm　
Z轴移动解析度　0.1um　
Z轴重复定位精度　±1um　
Theta角度行程　±15°　
Theta角度解析度　0.0003°　
光栅尺　带光栅尺　
样品固定方式　多孔真空吸附，独立分区控制　
切换样品功能　样品台快速拉出　
结构　同轴高压设计，镀金，电学独立悬空，可作为背电极使用　
针座平台　规格　O型平台，*多可放置8个针座　O型平台，*多可放置10个针座　O型平台，*多可放置12个针座　
行程&调节方式　平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降精度1um　
控制方式　手动控制盒（可选择带操纵杆）　
软件控制　
软件功能　wafer map的编辑　
仪器的接入　
数据的采集和图像化显示　
数据的分析　
差异数据的标定Ink mark　
自定义Bin分　
自动测试　　
通讯接口：RS232/EtherCAT/GPIB等　　
大功率规格　配置　大功率kelvin样品台　
大功率夹具线缆　
mult-pin 分流探针　
大功率保护模块（针座用）　
保护红外光幕，防止人员误进入工作区，触发时interlock互锁　
大功率仪器连接模块　
*大测试电压　10KV　
*大测试电流　500A（脉冲）　
光学特性　显微镜行程　2*2inch　
显微镜行程　1um　
放大倍数　20-4000X　
CCD像素　50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）　
点针规格　点针精度　10微米/2微米/0.7微米　
X-Y-Z行程　12mm-12mm-12mm　
漏电精度　　10pA/100fA　
接口形式　香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA，SHV接口　
温控特性　温度范围　﹣100~200℃　﹣80~200℃　﹣60~200℃　
温控精度　温度分辨率 ： 0.01°C　
加热电源　 LVDC 低压直流　
*低控温速率　　　±0.1°C　/小时　　
传感器　 Pt100　
制冷方式　液氮制冷　
减震　主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动　
可选附件　chuck快速拉出装置　
显微镜倾仰装置　
激光修复　
探针卡夹具　
光强/波长测试接口部件　
加热台　
高低温样品台（-80~200℃）　
防震桌　
射频测试　
PCB板夹具　
液晶热点侦测套装　
屏蔽箱　
卡盘镀金　
运用方向　晶圆测试，功率器件测试　


特点：　
SiC/GaN晶圆测试　超高的测试精度　
大功率晶圆测试　便捷的仪器接入　
（-60~200℃）高低温Chuck　半自动测试　
20~4000X光学显微放大　可升级全自动测试　
功能丰富的测试软件　可升级射频测试　

深圳市森美协尔科技有限公司
主营业务：SEMISHARE探针台和激光修复仪，晶圆工艺设备，氧化炉，匀胶机，光刻机，磁控溅射机台，电子束蒸渡机
联 系 人 ：朱女士
联系方式：0755-26906952 17727415912 → 联系我时请告知是在建材采购网看到的