Flex系列亮点暗化系统

价格：电询 产地：广东 品牌：SEMISHARE 型号： Flex-85 深圳市森美协尔科技有限公司 在线咨询

详情介绍更新时间：2019/3/22 17:21:44

型号 Flex-85
外形 3,000mm(宽) x2,500mm(长) x 2,500 mm (高 )　
重量 7500KG左右
电力需求 380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max
修复能力 可修复样品尺寸 3~85寸
可修复范围 显示区内任何位置
修复时间 120S左右每个像素(尺寸200um*100um的pixel)
适用产品类型 Cell段产品(OLED面板，IPS,ON-CELL/IN-CELL等TFT面板)，模组段产品(已贴偏光片，带TP模组)
遮光性 修补颜色在模组背光下不可见
平台功能 Gantry结构 龙门式
X-Y-Z 行程 2000*1200*50mm
移动精度 0.1um
X-Y运动速度 0~200mm/s
Z 运动速度 0~2mm/s可调
定位 AOI坐标自动定位
光学特性 光路系统倍率　50X~ 1000X ,5X ,10X ,20X ,50X,100X Objects
物镜切换速度 0.2~0.7s
聚焦 激光自动聚焦
光学分辨率 0.7um
相机 200W/500W像素工业相机
激光特性 激光系统 激光切割系统(5~500 nj/Pluse Maximum@250KHz,20X object，532nm)
能量调节精度 0-1000 stEPS
0-100％
激光波长 1064nm，532nm，355nm
脉宽 500fs
光斑尺度 0.8~1.5um @100X　object
1.0~3.0um @50X　object
激光寿命 ＞10年，维护间隔＞6,000小时
扫描面能量均匀性 优于5％ IR
工作模式 Scan扫描式　
扫描形状 可任意定义形状
工艺参数 软件可以添加任意组工艺参数
控制 工作模式 自动修复，实现数据的自动导入和输出，联机通讯
手动或者半自动修复
上下片 机械手或者流水线
CIM系统 有
减震 主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动
工业PC 23寸显示器&电脑：i7 处理器，1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G独立显卡，DVD-ROM
通讯接口 RS232/EtherCAT/GPIB等
安全 整机带屏蔽罩，操作人员在屏蔽罩外操作
紧急开关EMO
限位sensor，运动平台和激光系统限位互锁
Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选)　
应用 TFT-LCD Panel亮点的修复，OLED Panel亮点的修复

深圳市森美协尔科技有限公司
主营业务：SEMISHARE探针台和激光修复仪，晶圆工艺设备，氧化炉，匀胶机，光刻机，磁控溅射机台，电子束蒸渡机
联 系 人 ：朱女士
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