紫外光刻机URE-2000/35

价格：电询 型号：URE-2000/35 规格：单面自动光刻机 鑫有研电子科技有限公司 在线咨询

详情介绍更新时间：2014/9/21 19:41:26

该型号光刻机创新采用三柔性支点实现高精度自动调平；真空接触自动曝光；样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制；采用专利技术积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间隙；采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。

技术特征——非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，自动型）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）
采用专利技术——积木错位蝇眼透镜平滑衍射效应和实现均匀照明；
1、采用三爪和球气浮同时找平，无论大片、小片调平精度均高；　
2、具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能；　　
3、自动分离对准间隙和消除曝光间隙，间隙分离可达500μm；　
4、高倍率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，
并提供USB输出；既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果和
方便存储；　
5、电机机构、弹性元件和传感器保证接触曝光压力合适且重复性好；　　
7、曝光波长采用纯净365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm ，温度小于30度）；　　　
8、对准完成，自动消除曝光间隙，无横向漂移且可通过监视器观察；
9、快门可以单独开启，也可以数字设定自动倒计时曝光（设定范围0.1s-9999.9s）；　　
10、采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度；　
11、汞灯具有高亮度和“待机”两种方式，即曝光时采用高亮度照明，而不曝光
时采用低亮度的“待机”，从而延长了汞灯寿命。　　　
12、设备外形美观精制，性能非常可靠；
13、上下片、版十分方便，自动化程度很高，操作简便。

技术参数　
1、曝光面积：115mm×115mm（可升级6英寸）
2、分辨力：0.8μm（胶厚2mm的正胶）　　
3、对准精度：：±0.5μm
4、掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、样片尺寸直径Ф15mm--Ф100mm(可适应非标准片或碎片)　
7、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)
8、照明均匀性：±3％（Ф100mm范围）
9、掩模相对于样片运动行程：　X:±5mm;　Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞灯功率：350W（直流）
11、曝光波长：365nm（进口汞灯）
12、曝光能量密度：15mW/cm 可以根据需要增强或调弱(420nm以上波长小于0.1mW/cm )
13、曝光方式：定时（到计时方式0.1s—9999.9s）

鑫有研电子科技有限公司
主营业务：紫外光刻机，曝光机，无掩膜光刻机，台式匀胶机,净化显影机，无油真空泵，
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